氣浮臺廠家之氣浮平臺的原理

氣浮平臺的結構由氣浮導軌（含載物板），直線電機和光柵尺等主要部件組成，需要配干凈，無水無油的壓縮空氣。

氣浮平臺是光刻機貼片機等電子制造設備的主要工作機構。伴隨著電子產品的生產，產品的體積越來越小，對精度的要求越來越高。所以，高精度、高穩定性的移動平臺對于電子設備的發展有著舉足輕重的作用。另外，微電子系統制造和測試、光學測量加工、超精密加工、航空發動機測量制造等領域都離不開精密定位技術。因為空氣軸承精度比滾動軸承高兩個數量級，且精度高，摩擦系數小，采用氣浮平臺方案是精密運動平臺設計的理想選擇。

氣浮平臺在氣體動靜壓效應的基礎上，實現了沒有摩擦和沒有振動的平滑移動。之后通過氣管把壓縮空氣輸入到載物板與氣浮導軌之間（氣膜間隙），氣體在氣膜間隙內流動，讓載物板在氣浮導軌上浮起來，氣體的作用相當于潤滑劑，能夠起到無摩擦運動。

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